連続式真空薄膜形成装置 CES-SERIES
成膜のたびに大気にさらすことなく成膜室を常に高真空に保てるため、一定のタクトのもと安定的に生産を続けることが可能です。光学的膜厚を光学式膜厚モニタにより制御。独自の比率制御法により、高精度の製品を安定的に供給することができます。
事業案内
PLANT EQUIPMENT
成膜のたびに大気にさらすことなく成膜室を常に高真空に保てるため、一定のタクトのもと安定的に生産を続けることが可能です。光学的膜厚を光学式膜厚モニタにより制御。独自の比率制御法により、高精度の製品を安定的に供給することができます。
6層AR膜120バッチを前提として設計されています。成膜室には大型エンドレスハースを採用。仕切板により各種試料を自由に分割することが可能です。成膜のたびに大気にさらすことなく成膜室を常に高真空に保てるため、一定のタクトのもと安定的に生産を続けることが可能です。
反応性DCマグネトロンスパッタリング方式を採用し、波長シフトのない高品質な光学薄膜を低温で再現性良く成膜でき、装飾膜を含む機能性薄膜、窒化膜などの成膜を実現できます。
精密部品を含めいろいろな基材の洗浄を行っています。環境を配慮して洗剤で汚れを落とし純水を使用してすすぎをして温風で乾燥します。
超音波エネルギー(キャビテーション効果)が汚れの剥離を活発にし大きく洗浄効果を高めます。
基材に負担をかけない洗浄カゴを発案して取り組んでいます。
真空蒸着装置(連続式) 26台
真空蒸着装置(バッチ式) 8台
スパッタ成膜装置 6台
分光光度計 11台
超音波洗浄機 6台
ガラスレンズ加工機 16台
レーザーマーキング装置 6台
プラスチック全自動CNC加工機 18台
パッド印刷機 3台